【律特霍爾】一種延長MOCVD過濾器壽命的方法
本發(fā)明公開了一種延長MOCVD過濾器壽命的方法。本發(fā)明是在MOCVD過濾器前端加裝水冷裝置。水冷裝置包括水冷腔體,在水冷腔體內設置有螺旋盤繞的水冷管,水冷管的進水端和出水端分別設置于水冷裝置兩端,在水冷腔體還設置有用于過濾尾氣中大顆粒的不銹鋼網(wǎng)濾芯。水冷裝置一方面能使一般固體顆粒及低沸點物質在進入過濾器之前發(fā)生凝聚沉積,進入過濾器中的顆粒物質變少,降低了單個標準LED程序過程中濾芯的吸附量,延長濾芯壽命,另一方面可以降低進入過濾器內尾氣的溫度,減少更換過濾器時的等待時間,降低時間成本。 1. 一種延長MOCVD過濾器壽命的方法，其特征在于：在MOCVD過濾器前端加裝水冷裝置； 所述的水冷裝置包括水冷腔體，在水冷腔體內設置有螺旋盤繞的水冷管，水冷管的進水端和出水端分別設置于水冷裝置兩端，在水冷腔體還設置有用于過濾尾氣中大顆粒的不銹鋼網(wǎng)濾芯； 所述的水冷裝置一方面提前降低高溫尾氣的溫度，使得通過MOCVD過濾器時尾氣溫度相對較低，同時也將尾氣中大顆粒凝聚析出，在水冷裝置中****過濾，減少了到達MOCVD過濾器的大顆粒及其數(shù)量； 另一方面由于水冷裝置是一個連續(xù)的冷卻系統(tǒng)，在更換MOCVD過濾器時省去了冷卻等待的時間，在生產(chǎn)上節(jié)約了時間成本。
