技術(shù)特點(diǎn)：

●有效的真空檢測裝置安裝方法，保證真空準(zhǔn)確性，同時(shí)可延長其清理校準(zhǔn)周期。

●先進(jìn)的控制方式和獨(dú)特的軟件，保證工藝過程的準(zhǔn)確性、生產(chǎn)的穩(wěn)定性和操作的簡便。

●有效的反應(yīng)氣體處理裝置，延長換泵油時(shí)間，延長泵使用壽命，降低使用成本。

●比國內(nèi)設(shè)備同行更成熟可靠的刻蝕工藝，確保刻蝕效果得到提升，直接提升產(chǎn)品品質(zhì)。

●人性化的機(jī)器外形設(shè)計(jì)，和觸摸屏人機(jī)對(duì)話方式，更便于操作、維護(hù)、保養(yǎng)。

●配置進(jìn)口壓力傳感器（薄膜規(guī)），采用獨(dú)特的安裝方式，有效防止粉塵粘附，提高抗干擾能力，消除零飄。

●優(yōu)化設(shè)計(jì)的線圈固定裝置，線圈與石英管距離一致，并且確保線圈無脫落。

●獨(dú)特的輝光中斷報(bào)警功能。避免由于設(shè)備故障產(chǎn)生刻蝕不凈的電池片下傳。