小型深冷空分設備采用低壓流程，利用深度冷凍及精餾的方法從空氣中提取純氧和純氮，即利用透平膨脹機冷凍循環原理使空氣液化，根據液氧和液氮的沸點不同，在分餾塔內進行二次精餾，從而獲得99.6%純度的氧氣及99.99%以上純度的氮氣。根據需要，改變操作亦可制取部分液氧、液氮和醫用氧。

小型深冷空分設備工藝流程介紹

1、空氣壓縮機：空氣被空氣壓縮機壓縮至0.5Mpa~0.7Mpa。

2、預冷：空氣在預冷機組中預冷到5℃~10℃，并分離水分。

3、純化：空氣在分子篩純化氣體中清楚剩余的水分、二氧化碳和碳氫化合物。

4、空氣膨脹：空氣在膨脹機中膨脹制冷提供裝置所需的冷量。

5、換熱：空氣在分餾塔主換熱器中與返流的氧氣、氮氣、污氮氣進行換熱，被冷卻污氮氣復熱到環境溫度。

6、過冷：液空和液氮在過冷器中被氮所和污氮過冷。

7、精餾：空氣在下塔中進行精餾分離，在上塔頂部獲得產品氮氣，在上塔獲得。