概述：

痕量級雜質(zhì)氣體比如烴類、H2O、CO、CO2、NOx、N2、H2S等會對高純氦、高純氫、高純氮、其他高純氣體的生產(chǎn)帶來危害，長期存在會損壞生產(chǎn)設(shè)備和影響生產(chǎn)質(zhì)量，甚至對使用高純氣體的裝備帶來致命威脅。杜克泰克公司的DKF10-MH型痕量級多組分氣體分析儀專門專業(yè)監(jiān)測并分析ppm微量級、ppb超微量級雜質(zhì)氣體。

原理：

DKF10-MH多氣體分析儀基于紅外光聲光譜技術(shù)，擁有脈沖紅外光源，通過窄帶光學(xué)濾波片，形成中紅外區(qū)10個(gè)光譜波段，用于氣體分析；超高靈敏度基于專利的擁有增強(qiáng)懸臂梁光學(xué)麥克風(fēng)技術(shù)，可通過10種光學(xué)窄帶濾波片實(shí)現(xiàn)，極窄的光學(xué)濾波可去除背景氣體的干擾；多個(gè)光譜區(qū)域可有利于最小的交叉靈敏度。對采樣響應(yīng)結(jié)果按照改進(jìn)的經(jīng)典最小二乘法進(jìn)行數(shù)據(jù)校準(zhǔn)。

光聲光譜技術(shù)可實(shí)現(xiàn)短光路光程的高靈敏度測量，更進(jìn)一步提高了非線性補(bǔ)償技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)寬量程可達(dá)5級的線性動態(tài)量程比。

可測氣體：

l 烴類：CH4、C2H6、C2H2、C2H4等

l 無機(jī)氣體： CO2、CO、N2O、SO2、NO、NO2, NH3、NF3、SF6、H2O等

l 揮發(fā)性有機(jī)物VOCs：丙酮、乙醇、甲醇、苯、 甲苯、二甲苯、甲醛等

l 氟利昂（CFCs）及 全氟化碳（PFCs）: CF4、 C2F6、R-134a、R13等

l 腐蝕性氣體：HF、HCL、HCN等

l 麻醉劑：異氟烷、七氟烷、地氟烷、安氟醚等；

l 其他氣體：N2、H2、O2、氯氣等（可選、擴(kuò)展探頭）；

l 被測氣體可定制；

應(yīng)用：

高純氣雜質(zhì)氣體 泄漏檢測

過程質(zhì)量控制 熏蒸氣體

工業(yè)安全和衛(wèi)生 廢麻醉氣體

家禽養(yǎng)殖，生豬養(yǎng)殖 農(nóng)業(yè) 溫室氣體

大氣污染物排放 發(fā)酵

其他痕量氣體分析

特性：

l 同時(shí)測量高達(dá)9種氣體

l ppb,sub-ppm級的檢測限

l 即采即測、實(shí)時(shí)分析、秒級響應(yīng)時(shí)間

l 長的標(biāo)定周期、低的樣氣量

l 高分辨率圖形顯示界面,友好人機(jī)交互界面

l 豐富的可編程測量任務(wù)

l 圖形和表格顯示全部氣體的測量結(jié)果

l 內(nèi)置趨勢查看監(jiān)控任務(wù),

l 不需要外部的電腦

l 無耗材、免維護(hù)

l 4~20mA模擬量、RS232、RS485通訊

l 堅(jiān)固耐用的外殼設(shè)計(jì)

優(yōu)點(diǎn)：

l 帶有增強(qiáng)懸臂梁光學(xué)麥克風(fēng)的紅外光聲光譜 技術(shù)

l 電子脈沖紅外光源

l 鍍金采樣氣室恒定溫度50°C

l 專利超靈敏的基于MEMS懸臂梁傳感器光學(xué)麥克風(fēng)，耦合激光干涉測量懸臂梁微觀移動

l 19"3U工業(yè)機(jī)箱，適用于全部臺式或機(jī)架固定安裝

l 內(nèi)置帶有5.7"前置顯示器的嵌入式計(jì)算機(jī) 可設(shè)置氣體報(bào)警閾值

l 數(shù)據(jù)存儲約2GB，連續(xù)存儲9種氣體可達(dá)1年

l 測量結(jié)果可以通過U盤，USB口，Ethernet網(wǎng)口，串口導(dǎo)出

l 后面板有四路氣體連接口，兩路為采樣接口， 配有粉塵顆粒物過濾器

l 自動補(bǔ)償溫度、壓力等變化工況的干擾

l 自動去除包括水汽、顆粒物等采樣氣體的干擾