一、設(shè)備用途：本設(shè)備主要用于晶體硅太陽(yáng)電池制造中與管式PECVD配套對(duì)硅片進(jìn)行裝卸。即將硅片從料盒中自動(dòng)裝載至石墨舟中，同時(shí)將石墨舟中已經(jīng)完成工藝處理的硅片自動(dòng)裝載至料盒中。二、技術(shù)特點(diǎn)：1、國(guó)內(nèi)首創(chuàng)非機(jī)械手式全新技術(shù)方案。2、較機(jī)械手式自動(dòng)插片機(jī)更明顯的性價(jià)比優(yōu)勢(shì)。3、核心部件都是自主開(kāi)發(fā)，大大降低客戶維護(hù)成本。4、兼容性好：與市場(chǎng)現(xiàn)有PECVD設(shè)備所配小車能兼容，最大限度降低客戶使用成本。
三、技術(shù)指標(biāo)：

產(chǎn)品種類	WIL（在線式）	WOL（離線式）
型號(hào)	FWT-IL	FWT-OL-A
適用硅片	125mm/156mm（單、多晶）	125mm/156mm（單、多晶）
碎片率	<0.1%	<0.1%
產(chǎn)能	1800 pcs/h	3000 pcs/h(12舟/小時(shí))
硅片厚度	130~240um	130~240um
尺寸（L/W/H）	3710mmX2000mmX2345mm	3710mmX2000mmX2345mm
UP-TIME	＞97%	＞97%