光伏薄膜技術 馮阿登納公司注意到，薄膜光伏產品是未來市場的一個增長點，我們可以提供鍍膜方案或薄膜工藝廣泛的產品組合。對此，我們推薦以玻璃為基片的臥式鍍膜機PIA|nova®。
而且我們還提供立式配置的設備，例如GC60V，以及對使用卷對卷工藝的柔性基片鍍膜的解決方案。
 

馮阿登納研發(fā)和提供高度自動化離線鍍膜設備，可以應用于所有常規(guī)尺寸基片，生產金屬電極、透明氧化物導電膜以及基于CIS 或 CdTe的半導體膜層。根據(jù)上述應用，我們提供以下系統(tǒng)：  PIA|nova®GC60V      FOSA1600  GC330H研發(fā)與試驗系統(tǒng)PIA|nova® 模塊化的，靈活的，高度自動化的生產系統(tǒng)，用于沉積金屬導電層，TCO層和不同的吸收層。例如CIGS 或 CdTe光伏太陽能電池。模塊化的方案給予高可靠性和高成本效益的有機結合，可以根據(jù)客戶的需求靈活配置設備。例如PIA|nova®的適用范圍： 薄膜太陽能電池：a-Si:H, a-Si:H/µc-Si:H
前電極：SiOxNy, ZnO：Al
背電極：ZnO:Al, Ag, Al薄膜太陽能電池：CdTe
前電極：ITO, SnO2
背電極：Al, Cr, Mo, Sb2Te3, NiV薄膜太陽能電池：CIGS
前電極：i-ZnO, ZnO:Al
吸收層：CuGa, In
背電極：SiOxNy, Mo
  我們GC60V設備可以在垂直基片上進行多種涂層的沉積。
  GC330H設備平臺是量產型鍍膜機，可以在平面玻璃基片上多層濺射鍍膜，同時可以為水平基片提供多種涂層沉積方案。工藝濺射腔體由可自定義編號的通用技術廂體組成，內含先進的780 mm設計。所有的廂體都是一模一樣的，以滿足最大限度的靈活性，無論蓋板上配置的是渦輪分子泵還是用于直流或交流濺射的不同設計的平面陰極或者旋轉陰極，都能靈活地匹配在任一個廂體上。如需增加額外的配置和先進的工藝控制系統(tǒng)，可以很容易集成到系統(tǒng)中。設備基于渦輪分子泵和干式螺桿泵的真空工藝系統(tǒng)客戶可以通過交換裝有泵的蓋子、裝有磁控管的蓋子、磁控管周邊設施以及廂體間其它設備來自由組合、改裝。在相鄰濺射區(qū)域的排氣系統(tǒng)都有維修閥門。