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光伏 - 核心部件 馮•阿登納公司擁有真空工藝的專業(yè)技術(shù)并能提供光伏薄膜領域幾乎所有光譜的獨立的核心部件。電子束和等離子體技術(shù)適用于不同工藝溫度條件下,大面積的功能層和導電層的沉積。真空工藝技術(shù)可以在不同的基材上沉積極薄的涂層,諸如玻璃、硅片、金屬帶或塑料薄膜。
磁控濺射源 磁控濺射源在低壓和氬氣狀態(tài)下產(chǎn)生一個增強等離子體放電的磁場。通過正極氬離子轟擊作為負極的鍍膜材料(靶材),靶材表面的單個原子被撞擊出來。這些原子凝結(jié)在基片表面從而形成一個連續(xù)的薄膜。加入反應氣體,如氮氣或氧氣,可以進一步觸發(fā)等離子體化學反應。通過這種方法可以形成氮化物和氧化物薄膜。
磁控濺射源可以實現(xiàn)大面積的高精度的復雜化合物沉積。因此,這些磁控濺射源形成了生產(chǎn)多種光伏薄膜系統(tǒng)的鍍膜工藝基礎。帶旋轉(zhuǎn)靶材的磁控濺射源 在濺射過程中圓柱形靶材保持旋轉(zhuǎn),因此其表面剝離幾乎一致。與平面靶磁控濺射源相比,高達85%的靶材利用率和較高的工作壽命可以顯著降低鍍膜成本。磁控濺射 通過選擇合適的濺射源類型和靶材、加入適當?shù)姆磻獨怏w,我們可以生產(chǎn)出絕大多數(shù)光伏膜層,同時膜層具有高上膜率和高均勻度。比如:透明導電層(ITO, ZnO:Al)背電極(Ag, Al, Mo等)鈍化層(SiNx:H)半導體前電極電子束槍 電子束槍被應用在金屬和電介質(zhì)復合材料的高速蒸發(fā)上。大功率電子束以可編程的能量分布直接射向源材料。通過這種方式,電子束槍產(chǎn)生高溫和高蒸發(fā)率。熱蒸發(fā)物質(zhì)沉積在表面并持續(xù)不斷地形成高質(zhì)量的膜層。電子束蒸發(fā) 范圍廣泛的不同配置使得原材料和復合物的蒸發(fā)對光伏技術(shù)應用意義重大,比如:半導體層導電層(Mo, Ag, Al等)電介質(zhì)層(防反射涂層:SiO2)