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熱解氮化硼加熱器
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有效期至:長期有效

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產(chǎn)品特點(diǎn)       使用CVD法制造的高純度的產(chǎn)品。PBN和PG對腐蝕性氣體具有惰性,因?yàn)槭歉呒兌龋栽诟邷叵箩尫懦龅臍怏w很少,能很好的應(yīng)對熱沖擊,在特定情況下可以在1500℃以上的環(huán)境中使用。PG是進(jìn)行面加熱因而加熱快,PBN的熱傳導(dǎo)性很好,所以加熱面有很好的均熱特性。產(chǎn)品應(yīng)用       半導(dǎo)體材料制造設(shè)備中的加熱器,防止不純物的產(chǎn)生,以提高純度。


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劉澤魯

   
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