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熱解氮化硼(PBN)坩堝
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概述
       熱解氮化硼(PBN)是種特種陶瓷材料,在特殊設(shè)備上用化學(xué)氣相沉積的工藝制得,熱解氮化硼的沉積過程宛如“落雪”,氮化硼的六角形小雪片,一片一片的平行的落在石墨基體材料上,達到一定厚度后最終冷卻脫模而成。
主要參數(shù)
性能単位數(shù)值
晶格常數(shù)μma:2.504×10-10c:6.692×10-10
表觀密度g/cm32.0~2.19
顯微硬度(knoop)(ab平面)N/mm691.88
體積電阻系數(shù)Ω·cm3.11×1011
抗張強度(力∥C)N/mm2153.86
抗彎強度力⊥CN/mm2243.63
力⊥CN/mm2197.76
彈性模量N/mm2235690
熱傳導(dǎo)率 W/m·k“a”方向 “c”方向
200℃W/m·k60         2.60
900℃W/m·k43.70      2.80
介電強度(室溫)KV/mm56
 主要特點●產(chǎn)品顏色在牙白至橙棕、無毒、無孔隙、易加工?!窦兌雀哌_99.99%,表面致密,氣密性好?!衲透邷?,強度隨溫度升高,2200℃時達到最大值。●耐酸、堿、鹽及有機試劑,高溫與絕大多數(shù)熔融金屬、半導(dǎo)體材料不潤濕、不反應(yīng)。●抗熱震性好,熱導(dǎo)性好,熱膨脹系數(shù)低。●電阻高,介電強度高,介電常數(shù)小,磁損耗角正切低,并具有良好的透微波性和紅外線性能?!裨诹W(xué)、熱學(xué)、電學(xué)等性能上有著明顯的各向異性。產(chǎn)品應(yīng)用:坩堝類以及板材類半導(dǎo)體單晶及Ⅲ-Ⅴ族化合物合成用的坩堝,原位合成GaAs、InP、GaP單晶 的LEC系列坩堝。半導(dǎo)體單晶及Ⅲ-Ⅴ族化合物合成用 VGF、VB法系列坩堝。半導(dǎo)體單晶及Ⅲ-Ⅴ族化合物合成用分子束外延用的MBE系列坩堝。晶體合成、金屬熔煉蒸發(fā)坩堝等。利用其純度高、絕緣、耐腐蝕等特性,根據(jù)客戶需求制造不同規(guī)格的絕緣墊板、墊片等,發(fā)揮其絕緣作用。行波管用夾持桿。


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劉澤魯

   
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